微电子研发院进驻合作与设备共享规则
香港微电子研发院（Microelectronics Hardware Research and Development Centre，简称 MHRD）选址落马洲河套地区及元朗创新园，是《香港创新科技发展蓝图》重点投入项目之一。研究院聚焦第三代半导体、先进封装、硅光子、微机电系统（MEMS）等领域，对内地企业、高校与初创团队开放合作，并以「设备共享 + 项目合作 + 人才培育」三层架构，让外部机构无须自建洁净室与昂贵产线，就能在港完成流片、打样与小批量试产。本文整理了申请资格、合作模式、收费机制与设备共享规则，帮助内地机构快速评估是否适合进驻。
提示：以下费用、入驻条件与设备清单，以香港微电子研发院及创新科技署最新公布为准，本文不构成合作承诺。
一、研究院的核心定位与服务对象
MHRD 由香港特区政府主导规划，目标是建立一条覆盖「芯片设计—工艺开发—封装集成—可靠性测试」的公共研发中试平台，主要服务以下三类机构：
| 服务对象 | 典型场景 |
|---|---|
| 本地及内地高校 | 承接国家与省市重点研发项目，开展第三代半导体功率器件、宽禁带材料、新型传感器原型验证 |
| 半导体产业链企业 | 设计公司、流片需求客户、封测代工厂、IP 与 EDA 服务商，可使用研究院洁净室与设备做工艺验证和小批量试产 |
| 初创与中小企 | 缺乏洁净室与设备资源的硬科技初创，可按小时 / 租按设备使用、共享工艺平台 |
研究院不直接做消费电子量产，而是面向 研发型、工艺型、应用型 项目，是内地企业「出海香港、接轨国际」的重要跳板。
二、进驻合作的四种主要模式
MHRD 对外合作并非单一「入驻」关系，而是区分「项目合作、产线共享、人才驻留、商业委托」四种方式，机构可视自身需求选择。
1. 项目合作模式（Collaborative R&D Project）
研究院与外部伙伴 联合立项，双方投入资金、设备与场地，知识产权按贡献比例共有。
适用对象：
- 高校与研究院所，承担政府资助科研项目
- 企业研发部门，需要借助研究院设备做工艺开发
典型特点：
- 立项须提交《项目申请书》《技术方案》《预算说明》
- 项目周期常见为 12–36 个月，设有中期评估与结题验收
- 经费来源可为创新科技署「产学研 1+计划」、「Research, Academic and Industry Sectors One-plus Scheme」，或申请内地国家自然科学基金、科技部港澳台合作专项等
2. 设备共享模式（Pay-per-Shuse）
内地机构无须派团队长期驻港，只要签署 设备共享服务协议，即可按小时或按晶圆批次支付费用，使用研究院洁净室与设备。
适用对象：
- 设计公司，需要做 MPW（多项目晶圆）或小批量试产
- 高校实验室，需使用高端设备（如电子束光刻、原子层沉积、晶圆键合机）
- 初创企业，处于工程样品到小批量阶段
优势：
- 启动快：通常 4–8 周完成接洽、签约、设备排期
- 成本可控：按 Module 实际使用收费，无须承担维护与折旧
- 灵活性高：可单次使用，亦可签年度框架协议
3. 人才驻留模式（Talent Hosting）
研究院为内地高校与企业提供 访问研究员（Visiting Researcher） 名额，驻留期限通常为 3–12 个月，可使用研究院设备、宿舍与办公空间。
适用对象：
- 高校教师承担在港合作课题
- 博士后与博士生赴港联合培养
- 企业工程师派驻参与项目
配套支持：
- 协助办理香港「工作签证」或「短期访问签证」
- 提供宿舍或住房补贴（以官方最新公布为准）
- 可使用研究院图书资料、EDA 工具与超算资源
4. 商业委托模式（Commercial Service）
内地企业有明确的商业产品需求（如样品试产、可靠性测试、失效分析），可按商业服务价格委托研究院执行。
适用对象：
- 设计公司需要失效分析、可靠性认证
- 代工厂需要第三方验证工艺路线
- 半导体设备商需要工艺演示
特点：
- 按服务清单（Compensa）定价，项目启动前签订 NDA
- 周期短、目标明确，适合快速验证商业可行性
三、设备共享规则详解
设备共享是内地机构最关心的话题。MHRD 的设备开放原则为「共享优先、预约排期、按用量计费、知识产权清晰」。
1. 可共享的设备类别（以兆港元计的先进工具）
研究院目前正在陆续引进并对外开放的设备主要分为三大类：
| 设备类别 | 代表设备 | 工艺节点 / 应用 |
|---|---|---|
| 前段工艺设备 | 光刻机、电子束光刻、原子层沉积（ALD）、等离子体刻蚀、CVD/PVD | 8 英寸 / 12 英寸晶圆，先进逻辑与功率器件 |
| 封装与测试设备 | 晶圆键合机、flip-chip 键合机、3D 封装堆叠设备、AOI、X-Ray、可靠性测试系统 | 先进封装、异质集成、SiP |
| 表征与可靠性设备 | SEM/TEM、AFM、XPS、四点探针、探针台、动态老化测试系统 | 失效分析、材料表征、可靠性认证 |
提示：实际可用设备型号、规格、占用情况以研究院实时公布为准，部分设备可能仍在调试阶段。
2. 预约与排期规则
研究院对设备共享实行 「先到先得 + 优先级排队」 原则：
| 优先级 | 适用对象 | 排期规则 |
|---|---|---|
| 第一档 | 研究院自有项目、与政府重点专项绑定项目 | 享有优先排期权，可提前锁定设备窗口 |
| 第二档 | 已签项目合作协议的外部伙伴 | 提前 30–60 天预约，按合同顺序排期 |
| 第三档 | 按设备共享付费使用的外部用户 | 按申请提交时间排队，空闲时段优先 |
紧急排期：若设备短期内出现窗口，可申请「绿色通道」加急排期，但通常需额外付费（以官方最新公布为准）。
3. 收费机制
设备共享收费一般由以下几部分构成（具体金额以研究院官方报价为准）：
- 基础费（Setup Fee）：设备启动、洁净室占用、工艺环境准备
- 使用费（Usage Fee）：按小时或按 wafer / shot 计费
- 材料费（Material Cost）：靶材、化学品、晶圆载体、气体消耗
- 技术支持费（Engineer Support）：研究员或工程师全程陪同操作（部分高阶设备必须）
- 数据与报告费（可选）：要求研究院出具测试报告与数据分析
提示：部分设备仅对「项目合作伙伴」开放，非项目用户须先签项目意向书或项目合作合同。内地企业首次合作建议先以「商业委托」或「短时段设备共享」试水，评估合作顺畅度。
4. 知识产权与数据归属
这是内地机构最关心的环节。MHRD 一般遵循以下原则：
- 自带 IP（IP carried in）：合作前已存在的设计、工艺、IP 仍属原机构所有
- 新增 IP（Foreground IP）：合作过程中新产生的发明、工艺改进，按协议分成共有或归研究方所有
- 数据保密：研究院须签 NDA（保密协议），对客户的晶圆数据、设计数据保密
- 发表权利：学术合作项目通常允许研究院与高校联合发表，但发表前须通过合作方审核
建议在签项目合同前，聘请具有港股 / 跨境 IP 经验的律师事务所，对 IP 归属、发表权、衍生专利申请权做明确约定。
四、内地机构的实操流程
内地机构从首次接触到正式合作，一般可分为五个步骤：
- 初步接洽：邮件提交机构介绍、合作意向、技术需求
- 需求评估：研究院技术经理对接，评估工艺可行性、设备匹配度
- 方案报价：研究院出具合作方案书与报价，约定模式（项目 / 共享 / 委托）
- 合同签署：签项目合作协议或设备共享协议，含 IP、保密、责任、付款条款
- 项目执行 / 设备使用：研究院协助办理签注 / 签证（驻留模式）、设备预约排期、付款与项目推进
通常从首次接触到启动设备共用，周期约 8–16 周，具体依机构性质与项目复杂度而定。
五、值得关注的几个实务细节
- 跨境数据与样品的进出境：内地样品入港、香港设备 / 工艺数据返回内地，涉及海关与出口管制（含 EAR / EAR99 与商务部两用物项清单），需提前评估合规风险。
- 设备使用人员的资质要求：部分高端设备（如电子束光刻、12 英寸光刻机）须由研究院派员操作，外部人员仅可观摩。
- 洁净室管理：MHRD 洁净室等级一般为 ISO Class 5–6，进出人员须完成洁净服穿戴、清洁训练与资质认证。
- 产能限制：研究院以研发与小批量为主，并非代工厂。若需每月数千片以上量产，仍须对接商业代工厂（如台积电、SMIC、华虹、中芯绍兴、长电、通富微电等）。
- 政府资助联动：符合条件的项目可同时申请香港创新及科技基金（ITF）「内地与香港合作项目」，由香港与内地共同出资。
六、写在最后
香港微电子研发院对内地机构而言，是 「少投入、快验证、强背书」 的公共研发平台。无论是高校争取国家项目、企业做工艺试产、初创完成工程样品评审，都可以借助研究院的洁净室与设备资源，把研发成本与固定资产投入降到最低。关键是在合作启动前，做好 IP 归属、数据合规、设备排期与项目里程碑的明确约定，避免因「共享」而产生的模糊地带。
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常见问答
内地企业或高校如何首次联系香港微电子研发院？需要准备哪些材料？
一般通过邮件提交机构介绍、合作意向与技术需求即可发起初步接洽。研究院技术经理会先做需求评估，评估通过后再出具合作方案书与报价。准备材料时建议提前整理好技术方案、工艺需求清单与预算说明，便于后续推进。
不在港设立公司、没有香港团队，能否直接使用 MHRD 的设备？
可以。设备共享模式（Pay-per-Share）允许内地机构无须派团队长期驻港，只需签署设备共享服务协议，按小时或按晶圆批次付费即可使用洁净室与设备。启动周期通常为 4–8 周，适合没有香港团队的内地设计公司、高校实验室与初创企业。
设备共享的收费是怎么构成的？大概要多少钱？
收费一般由基础费（设备启动与洁净室占用）、使用费（按小时或按 wafer/shot 计费）、材料费（靶材、化学品、晶圆载体等）、技术支持费（部分高阶设备须研究院派员操作）以及可选的数据与报告费构成。具体金额以研究院官方最新报价为准，文章未给出统一价目。
合作过程中产生的知识产权归谁？数据安全如何保障？
研究院一般遵循「自带 IP 归原机构、新增 IP 按协议分成共有或归研究方」的原则，并要求签订 NDA 对客户的晶圆数据与设计数据保密。学术合作项目通常允许联合发表，但发表前须经合作方审核。建议在签合同前委托具有跨境 IP 经验的律所对归属、发表权与衍生专利申请权做明确约定。
内地样品寄到香港做测试，数据再带回内地，会不会有合规风险？
确实需要提前评估。内地样品入港、香港设备与工艺数据返回内地，涉及海关申报与出口管制（含 EAR / EAR99 与商务部两用物项清单）。建议在项目启动前与研究院法务、海关及出口管制顾问共同梳理合规清单，避免因清单管控或申报遗漏影响进度。
派工程师赴港使用设备，签证和住宿怎么解决？
人才驻留模式下，研究院可为内地高校与企业人员提供访问研究员名额，驻留期限通常为 3–12 个月。研究院可协助办理香港工作签证或短期访问签证，并提供宿舍或住房补贴，具体政策以官方最新公布为准。驻留期间还可使用研究院的 EDA 工具、超算资源与图书资料。